没有催化剂的情况下，氮化硅与水不发生反应。
氮化硅（Si₃N₄）是一种呈空间网状结构的原子晶体，是一种性质非常稳定的陶瓷材料。具有很高的机械强度，耐热冲击性好，急冷急热也不变化，非常适合用来制作柴油机内件或涂层。
①、氮化硅溶于氢氟酸，反应式如下：
Si₃N₄+12HF=3SiF₆²⁻+4NH₄⁺+2H⁺
②、氮化硅在浓的强酸溶液中会缓慢水解，反应式如下：
Si₃N₄+4H⁺+9H₂O=3H₂SiO₃+4NH₄⁺
但生成的硅酸H₂SiO₃会阻止反应继续进行。
③、工业上腐蚀氮化硅最好的是热的浓磷酸，反应式如下：
Si₃N₄+12H₂O=3SiO₂+4NH₃↑
SiO₂+2H₂O=H₄SiO₄
（160℃，86%左右浓度磷酸）
前一个反应式看上去是氮化硅和水反应，其实不要忽略温度和浓磷酸的作用，其实该反应分三步进行，磷酸成为了催化剂。
第一步，氮化硅与磷酸反应：Si₃N₄+H₃PO₄+H₂O=3SiO₂+NH₄H₂PO₄
第二步，磷酸二氢铵双水解：NH₄H₂PO₄+H₂O=H₃PO₄+NH₃·H₂O
第三步，氨水高温下分解放出气体：NH₃·H₂O=H₂O+NH₃↑
如果是其他强酸，其铵盐稳定，不水解，会不停消耗，反应越来越慢。但磷酸对氮化硅的腐蚀作用可持续进行，实验数据大约每分钟腐蚀深度5毫米。
